辅助设备
全自动石英环清洗机
通过化学蚀刻，该方法蚀刻出来的石英环能达到表面清洁效果良好的要求，并可以提高生产效率，更适合于量产。工艺柔性化设计，可设备多组工艺配方。多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储。
✨ 酸槽蚀刻：化学液配合循环过滤系统对石英环表面进行微蚀刻处理
✨ 化学液回收利用：工艺完成后，化学液经过滤器进入储液箱，可供下次重复利用
✨ 水槽清洗：配有快速注水、慢速溢流、高压喷淋、底部鼓氮、急速排放等多重功能于一身，满足不同工件的工艺要求
✨ 节水功能：慢速溢流后与喷淋后的DIW可经回收管路进入纯水箱，供下次注水使用，可很大程度上节约DIW
✨ 干燥功能：使用高温N₂风配合槽内红外加热管进行干燥
产品详情
| 设备主体尺寸 | 8000mm(L)×2000mm(W)×2300mm(H) | ||||
| 清洗能力 | 各种石英环（如￠412mm，￠618mm） | ||||
| 配液方式 | 自动配液、自动补液 | ||||
| 过滤精度 | 0.05-0.2μm | ||||
| 循环流量 | 15-30L/min | ||||
| 干燥温度 | 60~80℃ | ||||
| 槽体材质 | PVDF+NPP | ||||
| 重量 | 5000kg | ||||
| 安全防护功能 | 运动机构安全连锁，机械防护罩，漏液监测，气压报警，水压报警，风压报警 | ||||
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